为真空室泄漏测试节省氦气
由于氦气供应日益紧张，许多公司纷纷探寻方法，以将其工艺过程中的氦气用量降至最低。下表中的信息有助于公司节省真空室泄漏测试的氦气用量，同时还有助于节省现有的宝贵资源。
| 措施 | 说明 | 节省量 | 建议用途 | 不足之处 | 安装方便性 |
|---|---|---|---|---|---|
| 氦气回收 | ~ 90% | 大型部件 |
回收系统的安装成本较高 由于存在氦气损失，或者稀释时间较长，因此需要回充氦气 |
容易/一般 | |
| 氦气稀释 | 10% 氦气 = 10% 泄漏率 | ~ 90 – 95% | 大型部件 中度泄漏 |
混合设备成本较高 灵敏度可能降低，因此检漏仪必须具有较高灵敏度 |
一般 |
| 降低充氦压力 | 50% 充氦压力 = 25% 泄漏率 | ~ 50% | 大型部件 中度泄漏 |
灵敏度可能降低，因此检漏仪必须具有较高灵敏度 试压力 ≠ 工作压力 |
一般 |
| 检查供氦管路是否泄漏 | ~ 5 – 10% | 所有部件 |
维护量较大 |
容易 | |
| 在测量期间切换部分流量 | = 灵敏度较高 = 氦气需求量较小（若要获得理想的响应时间，则需使用增压泵） | ~ 90% | 大型真空室 |
需要增压泵（安装成本较高） |
一般/难度大 |
| 使充气阀/排气阀靠近受测部件 | = 减少供氦管路的容量 | ~ 10 – 80% | 所有部件 （对小部件的影响较大） |
难以改装 |
难度大 |
| 将真空室容积降至最小 | = 泵速降低 = 部分流量因数更理想 = 灵敏度较高 = 氦气需求量较小 | ~ 10 – 50% | 大型真空室 |
可能难以改装 |
一般/难度大 |
| 基于信号外推法来确定是否存在泄漏 | 更接近检测限值 = 氦气需求量较小 | ~ 50% | 所有部件（对大部件的影响较大） |
再现性要求较高 |
一般方便，但应用范围有限 |
上表中的信息仅为建议，供您改进泄漏测试系统。不是所有建议都适用于所有应用。这些建议的具体执行难度相差较大。
在对泄漏测试系统做任何修改时，需与终端客户、系统集成商以及 INFICON 公司密切合作。如需就系统优化获得专家建议，请联系就近销售代表。