Neues UL3000 Fab von INFICON setzt Maßstäbe für die Lecksuche in der Halbleiterfertigung

Beim UL3000 Fab von INFICON handelt es sich um ein neues Helium-Dichtheitsprüfgerät für Lecksuchen in der Halbleiterfertigung. Mit dem Gerät können Halbleiterprozesskammern schnell und zuverlässig auf Lecks geprüft werden. Das Gerät verwendet Helium als Prüfgas und erkennt selbst kleinste Leckraten von bis zu 5 x 10^-12 mbar l/s. Damit bietet es die genaueste Lecksuche bei Vakuumkammern für die Wafer-Produktion.

Das UL3000 Fab ist äußerst stabil und einfach zu manövrieren. Dank der schlanken und mobilen Konstruktion erfolgt der Zugang zu Prüfbereichen problemlos. Der benutzerfreundliche, drehbare Touchscreen des UL3000 Fab erleichtert dem Bediener die Arbeit, indem es eine moderne Menüstruktur und eine intuitive Benutzeroberfläche bietet. Der Zugriff auf das Menü ist auch über ein Smartphone möglich, wodurch eine einfache Fernsteuerung des Geräts u. a. in einiger Entfernung zum Wafer-Produktionsbereich ermöglicht wird. Dies ist insbesondere bei beengten Platzverhältnissen von großem Vorteil. Ebenfalls praktisch ist die Funktion „I-ZERO 2.0“, die es ermöglicht, den Heliumuntergrund zu reduzieren, ohne die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Prüfung zu beeinträchtigen. So kann die Lecksuche schneller beginnen.

Während das UL3000 Fab darauf ausgelegt ist, die Dichtheit von Wafer-Kammern mittels einer Helium-Lecksuche sicherzustellen, bietet das Modell UL3000 Fab PLUS auch die Möglichkeit, Lecksuchen an Rohren mit verschiedenen Prüfgasen durchzuführen.

Das UL3000 Fab PLUS verfügt außerdem über die Software HYDRO-S, mit der verhindert werden kann, dass sich Feuchtigkeit und Wasserstoff auf die Helium-Leckrate auswirken. Dadurch kann die Lecksuche schneller gestartet werden.

Die schlanke Konstruktion, die intuitive Benutzerführung und schnelle Ergebnisse sind nur einige Vorteile des neuen UL3000 Fab. Erfahren Sie hier mehr über das UL3000 Fab.

Für weitere Informationen zum Helium-Dichtheitsprüfgerät UL3000 Fab wenden Sie sich bitte an eine INFICON-Niederlassung in Ihrer Nähe.