Le nouvel UL3000 Fab INFICON définit des normes de test dans le domaine de la fabrication des semi-conducteurs

L’UL3000 Fab d’INFICON est un nouveau détecteur de fuite à l’hélium destiné à contrôler l’étanchéité dans la fabrication des semi-conducteurs. Grâce à l’UL3000 Fab d’INFICON, les tests des chambres de traitement des semi-conducteurs visant à détecter d’éventuelles fuites sont réalisés rapidement et en toute fiabilité. Cet instrument utilise l’hélium comme gaz traceur ; il peut détecter des taux de fuite extrêmement faibles de l’ordre de 5 x 10^-12 mbar l/s et permet ainsi de confirmer avec une très grande précision l’étanchéité des joints des chambres sous vide pour la production de wafers.

L’UL3000 Fab est conçu pour offrir une stabilité et une maniabilité optimales. Grâce à sa mobilité, à sa forme effilée et à sa solidité, l’accès aux zones à tester ne pose aucun problème. Une fois la fuite localisée, l’UL3000 Fab facilite le travail de l’utilisateur grâce à son écran rotatif tactile convivial offrant un menu moderne et une interface utilisateur intuitive. Le menu est également accessible via un périphérique mobile, qui rend l’instrument très facile à commander à distance, surtout si l’espace est exigu et si l’instrument est utilisé à une certaine distance de la chambre de production des wafers. Une autre fonction est la fonction I Zero 2.0 qui permet d’éliminer l’hélium résiduel dans l’objet testé sans affecter la précision et la fiabilité du test, de sorte que le test de fuite peut démarrer plus rapidement.

Si l’UL3000 Fab est conçu pour garantir l’étanchéité des chambres de production des wafers au moyen d’un test de vide à l’hélium, le modèle optionnel UL3000 Fab PLUS offre quant à lui une fonctionnalité de détection de fuite utilisant un renifleur pour les tuyaux conduisant différents gaz de procédé.

L’UL3000 Fab PLUS utilise également le logiciel HYDRO S capable d’annuler les effets de l’humidité et de l’hydrogène sur le taux de fuite de l’hélium. Ainsi, le test de fuite peut être lancé plus rapidement.

Sa forme effilée, son interface utilisateur intuitive et la rapidité d’obtention des résultats ne sont que quelques uns des avantages du nouvel UL3000 Fab. Découvrez en davantage sur l’UL3000 Fab ici.

Pour plus d’informations sur le détecteur de fuite à l’hélium UL3000 Fab, contactez votre bureau INFICON le plus proche.