Ny INFICON UL3000 Fab sätter teststandarder inom halvledartillverkning

Den nya heliumläcksökaren UL3000 Fab från INFICON är en ny läcksökare för läcktestapplikationer inom halvledartillverkning. Med INFICON UL3000 Fab kan kammare för halvledarprocesser testas för läckor på ett snabbt och pålitligt sätt. Instrumentet använder helium som spårgas och detekterar läckor ner till 5 x 10-12 mbarl/s, vilket innebär den högsta nivån för tätningar i vakuumkammare vid skivproduktion.

UL3000 Fab är designad för maximal stabilitet och lätt manövrerbarhet. Tack vare den smala designen och den robusta konstruktionen är tillgången till svåråtkomliga testområden inte ett problem längre. När läckan är lokaliserad gör UL3000 Fab operatörens arbete enkelt genom en användarvänlig roterande pekskärm som erbjuder en modern menystruktur och ett intuitivt användargränssnitt. Menyn kan också styras genom en mobil enhet - vilket gör att instrumentet lätt kan styras på distans, speciellt i trånga utrymmen eller när det används på längre avstånd från skivtillverkningskammaren. En annan egenskap hos UL3000 Fab är I·Zero 2.0 funktionen som gör det möjligt att minska heliumbakgrunden i testobjektet utan att påverka testets noggrannhet och tillförlitlighet, så läcktestet kan startas fortare.

Medan UL3000 Fab är designad för att säkerställa skivkammarens täthet med hjälp av ett heliumvakuumtest, erbjuder UL3000 Fab PLUS-modellen även möjligheten till sniffning vid läcksökning på rör med olika processgaser.

UL3000 Fab PLUS har även HYDRO·S mjukvaran som minimerar effekterna av fukt och väte på heliumläckstorleken. Följden av detta är att läcktestet kan startas tidigare.

Slim design, intuitiv användarvägledning och snabba resultat är bara några av fördelarna med den nya UL3000 Fab. Läs mer om UL3000 Fab här.

För mer information om heliumläcksökaren UL3000 Fab kontakta närmaste INFICON kontor.