Neues mobiles Vakuum-Lecksuchgerät UL6000 Fab von INFICON bricht Lecktest-Rekorde in der Halbleiterfertigung

Bei der Lecksuche sind schnelle Ansprechzeiten unerlässlich. Jede Sekunde zählt, denn Ausfallzeiten können kostspielig sein.

Der UL6000 Fab von INFICON ist ein neues Helium-Dichtheitsprüfgerät für Vakuum-Dichheitsprüfung in großvolumigen Produktionsanlagen, wie z. B. in der Halbleiterindustrie. Das Gerät ist extrem schnell und präzise, damit Ausfallzeiten minimiert und die Leistung Ihrer Dichtheitsprüfungssequenz maximiert wird. Es verfügt über zwei innovative Pumpen, um selbst kleinste Lecks in Rekordzeit zu finden. Mit mehr als 36 l/s bietet die neue Booster-Turbomolekularpumpe das beste Helium-Saugvermögen auf dem Markt. Zusätzlich beschleunigt eine langlebige Wälzkolbenpumpe mit einer Luftförderleistung von 36 m³ pro Stunde die Evakuierung großer Volumen.

Der UL6000 Fab verfügt über ein schlankes Design und eine robuste Konstruktion, die eine leichte Manövrierbarkeit und Zugang zu allen Prüfbereichen ermöglicht. Bei beengten Arbeitsbedingungen kann es mithilfe einer Web-App und einer drahtlosen Fernbedienung auch aus größeren Distanzen bedient werden.

Das Gerät gewährleistet außerdem dank HYDROS eine hohe Präzision bei der Lecksuche, denn dadurch wird der Wassergehalt im Signal eliminiert, um schnell einen niedrigen Untergrund zu erreichen. Außerdem unterdrückt IZERO 2.0 den Helium-Untergrund auf ein Minimum, ohne die Genauigkeit der Prüfung zu beeinträchtigen. Das Gerät verfügt außerdem über die ICAL-Software, die das Rauschen des Leckratensignals auf ein Minimum reduziert, ohne dass Details wie kleinste Leckraten-Peaks übersehen werden.

Der UL6000 Fab wurde für den Einsatz in der Halbleiter-, Solarzellen- und Flachbildschirmherstellung, für die Beschichtung von Glas- und Kunststofffolien sowie für Vakuumanlagen entwickelt.

Sehen Sie sich das UL6000 Fab Video an, um mehr über den UL6000 Fab zu erfahren. Wenn Sie weitere Informationen über das schnellste, präziseste, langlebigste und zuverlässigste Prüfsystem auf dem Markt wünschen, wenden Sie sich bitte an die INFICON-Niederlassung in Ihrer Nähe.