Einsparung von Helium bei der Vakuumdichtheitsprüfung

Aufgrund des weltweit rückläufigen Heliumvorrats suchen viele Unternehmen nach Möglichkeiten zur Reduzierung der in ihren Prozessen verwendeten Heliummengen. Die folgende Tabelle enthält nützliche Hinweise zur Einsparung von Helium bei Vakuumdichtheitsprüfungen und zum Erhalt der noch verbleibenden wertvollen Vorräte.

Mittel	Beschreibung	Erzielbare Einsparung	Empfohlene Anwendungen	Einschränkungen	Durchführbarkeit
Helium-Rückgewinnung		~ 90%	Groβe Bauteile	Kapitalaufwand für Rückgewinnungsanlage Heliumverlust / Verdünnung im Laufe der Zeit –> Nachfüllen erforderlich	Einfach/Mäβig schwierig
Heliumverdünnung	10% helium = 10% leak rate	~ 90 – 95%	Groβe Bauteile, mäβig hohe Leckraten	Kosten für Mischgerät Empfindlichkeitsverlust -> Leckdetektor muss ausreichende Empfindlichkeit besitzen	Mäβig schwierig
Niedrigerer Heliumfülldruck	50 % Fülldruck = 25 % Leckrate	~ 50%	Groβe Bauteile, mäβig hohe Leckraten	Empfindlichkeitsverlust -> Leckdetektor muss ausreichende Empfindlichkeit besitzen Prüfdruck ≠ Betriebsdruck	Mäβig schwierig
Heliumzuführung auf Lecks prüfen		~ 5 – 10%	Alle	Wartungsaufwand	Einfach
Teilstrom während der Messung abschalten	= höhere Empfindlichkeit = geringerer Heliumbedarf (Akzeptable Ansprechzeiten erfordern Zusatzpumpe)	~ 90%	Groβe Vakuumkammern	Erfordert Zusatzpumpe (Kapitalinvestition)	Mäβig schwierig/Schwierig
Füll- bzw. Entlüftungsventil nahe am Prüfteil	= reduziertes Füllleitungsvolumen	~ 10 – 80%	Alle (Gröβere Auswirkung auf kleinere Bauteile)	Nachrüstung schwierig	Schwierig
Minimierung des Kammervolumens	= Pumpe mit niedrigerer Pumpgeschwindigkeit = besserer Teilstromfaktor = höhere Empfindlichkeit = geringerer Heliumbedarf	~ 10 – 50%	Groβe Vakuumkammern	Nachrüstung unter Umständen schwierig	Mäβig schwierig/Schwierig
Leckbestimmung auf Basis von Signalextrapolation	Annäherung an Nachweisgrenze = geringerer Heliumbedarf	~ 50%	Alle (Gröβere Auswirkung auf groβe Bauteile)	Erfordert hohe Reproduzierbarkeit	Mäβig schwierig, aber anwendungsbeschränkt

Die in dieser Tabelle aufgeführten Punkte sind Vorschläge zur Verbesserung Ihrer Dichtheitsprüfanlage. Nicht alle dieser Vorschläge sind auf alle Anwendungen anwendbar. Der Aufwand zur Implementierung der unterschiedlichen Vorschläge kann erheblich voneinander abweichen.

Änderungen an einer Dichtheitsprüfanlage erfordern enge Zusammenarbeit von Endanwender, Systemintegrator und INFICON. Bitte wenden Sie sich an Ihren zuständigen Vertriebspartner, um sich bezüglich der Optimierung Ihrer Anlage fachlich beraten zu lassen.