Aufgrund des weltweit rückläufigen Heliumvorrats suchen viele Unternehmen nach Möglichkeiten zur Reduzierung der in ihren Prozessen verwendeten Heliummengen. Die folgende Tabelle enthält nützliche Hinweise zur Einsparung von Helium bei Vakuumdichtheitsprüfungen und zum Erhalt der noch verbleibenden wertvollen Vorräte.
Mittel | Beschreibung | Erzielbare Einsparung | Empfohlene Anwendungen | Einschränkungen | Durchführbarkeit |
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Helium-Rückgewinnung | ~ 90% | Groβe Bauteile |
Kapitalaufwand für Rückgewinnungsanlage Heliumverlust / Verdünnung im Laufe der Zeit –> Nachfüllen erforderlich |
Einfach/Mäβig schwierig | |
Heliumverdünnung | 10% helium = 10% leak rate | ~ 90 – 95% | Groβe Bauteile, mäβig hohe Leckraten |
Kosten für Mischgerät Empfindlichkeitsverlust -> Leckdetektor muss ausreichende Empfindlichkeit besitzen |
Mäβig schwierig |
Niedrigerer Heliumfülldruck | 50 % Fülldruck = 25 % Leckrate | ~ 50% | Groβe Bauteile, mäβig hohe Leckraten |
Empfindlichkeitsverlust -> Leckdetektor muss ausreichende Empfindlichkeit besitzen Prüfdruck ≠ Betriebsdruck |
Mäβig schwierig |
Heliumzuführung auf Lecks prüfen | ~ 5 – 10% | Alle |
Wartungsaufwand |
Einfach | |
Teilstrom während der Messung abschalten | = höhere Empfindlichkeit = geringerer Heliumbedarf (Akzeptable Ansprechzeiten erfordern Zusatzpumpe) | ~ 90% | Groβe Vakuumkammern |
Erfordert Zusatzpumpe (Kapitalinvestition) |
Mäβig schwierig/Schwierig |
Füll- bzw. Entlüftungsventil nahe am Prüfteil | = reduziertes Füllleitungsvolumen | ~ 10 – 80% | Alle (Gröβere Auswirkung auf kleinere Bauteile) |
Nachrüstung schwierig |
Schwierig |
Minimierung des Kammervolumens | = Pumpe mit niedrigerer Pumpgeschwindigkeit = besserer Teilstromfaktor = höhere Empfindlichkeit = geringerer Heliumbedarf | ~ 10 – 50% | Groβe Vakuumkammern |
Nachrüstung unter Umständen schwierig |
Mäβig schwierig/Schwierig |
Leckbestimmung auf Basis von Signalextrapolation | Annäherung an Nachweisgrenze = geringerer Heliumbedarf | ~ 50% | Alle (Gröβere Auswirkung auf groβe Bauteile) |
Erfordert hohe Reproduzierbarkeit |
Mäβig schwierig, aber anwendungsbeschränkt |
Die in dieser Tabelle aufgeführten Punkte sind Vorschläge zur Verbesserung Ihrer Dichtheitsprüfanlage. Nicht alle dieser Vorschläge sind auf alle Anwendungen anwendbar. Der Aufwand zur Implementierung der unterschiedlichen Vorschläge kann erheblich voneinander abweichen.
Änderungen an einer Dichtheitsprüfanlage erfordern enge Zusammenarbeit von Endanwender, Systemintegrator und INFICON. Bitte wenden Sie sich an Ihren zuständigen Vertriebspartner, um sich bezüglich der Optimierung Ihrer Anlage fachlich beraten zu lassen.