提升产线均衡的视图

Charlie Hilliard - Intelligent Manufacturing Systems 项目经理

前言

6.7 版的 Factory Dashboard 就用户如何在他们的工厂中实现多个产线的视觉化进行了改进。我们的产线监控介面使用户可以通过常规步骤，或常规步骤的集合 - 即我们所称的"区块"来查看产线状况。这些区块通常与光掩膜层相关——同一层掩膜内的所有常规步骤集合成一个区块。

我们添加了度量标准，以快速判定产线内所有区块在当前和前些天表现不佳的区域。每一个度量标准都是可以自定义的，这个新报告使用户可以根据自己的喜好快速选择并绘制每一个度量标准。

关键特性

• 通过常规步骤或区块显示 WIP 目标
  • INFICON 可根据我们经过改进的产品系列平衡算法提供 WIP 目标
• 突显没有达到度量标准目标的常规步骤或区块
• 显示在区块之间移动的 WIP 数量
• 选择目前当班/天、之前当班/天或者滚动的 24 小时度量标准

示例：显示之前 24 小时区块的移动

某位用户选择按照区块路线绘制，选择查看过去 24 小时内已经离开每一个区块路线的晶圆的数量。

依据上述选项，最终输出的信息包括当前 WIP、WIP 目标以及过去 24 小时已经离开每一个区块的晶圆的数量 (图 1)。

总结以及未来特性

全新产线监控介面是一种实用的监控工具，能够快速判定同一工厂内多个产线的健康状况，具体方法如下：

• 根据最近常规步骤和/或区块的输出量辨别产线哪些区域需要关注
• 显示 WIP 目标与当前 WIP 情况的对比以及对产线平衡造成负面影响的有问题的常规步骤，以此改进产线平衡

我们还计划未来将我们的产线平衡算法结果 (正如 INFICON Scheduler 所使用的) 融入到产线监控介面绘图，以此进一步提升我们的产线监控介面的性能。

如果您可以访问我们的帮助网站和希望更详细了解我们的产线监控介面的页面及 Dashboard 未来其他增强特性，请访问我们的 Factory Dashboard 发行说明和网站帮助页面。