Il nuovo INFICON UL3000 Fab stabilisce gli standard di prova nella produzione dei semiconduttori
UL3000 Fab di INFICON è un nuovo rilevatore di perdite a elio per applicazioni di prova di tenuta nella produzione dei semiconduttori. Con INFICON UL3000 Fab le camere di processo dei semiconduttori possono essere testate in modo rapido e affidabile. Lo strumento utilizza l’elio come gas tracciante e rileva anche le perdite più piccole, fino a 5 x 10-12 mbarl/s, offrendo così una conferma precisa della tenuta delle camere da vuoto per la produzione di wafer.
UL3000 Fab è progettato per assicurare stabilità e portabilità ottimali. Grazie al design sottile e portatile e alla robusta struttura, l’accesso alle aree di prova non è un problema. Una volta individuata la perdita, UL3000 Fab semplifica il lavoro grazie allo schermo tattile girevole e di facile uso, dotato di moderna struttura di menu e di interfaccia utente intuitiva. È possibile accedere al menu anche tramite un dispositivo mobile, una caratteristica che consente di controllare facilmente lo strumento anche in remoto, in particolare se lo spazio è limitato e il dispositivo viene utilizzato a una certa distanza dalla camera di produzione del wafer. Un’altra caratteristica è la funzione I·Zero 2.0 che consente di eliminare il livello di fondo dell’elio nell’oggetto testato senza influire sulla precisione e l’affidabilità del test, in maniera che la prova di tenuta possa essere avviata più velocemente.
Sebbene UL3000 Fab sia stato progettato per verificare la tenuta delle camere di produzione dei wafer mediante prova di tenuta a elio sotto vuoto, il modello UL3000 Fab PLUS opzionale offre anche la capacità di rilevamento delle perdite tramite “test sniffing” per tubazioni contenenti gas di processo diversi.
UL3000 Fab PLUS è dotato inoltre del software HYDRO·S in grado di eliminare gli effetti dell’umidità e dell’idrogeno sul tasso di perdita dell’elio. In questo modo, la prova di tenuta può essere avviata più rapidamente.
Design snello, guida utente intuitiva e risultati rapidi sono solo alcuni dei vantaggi del nuovo UL3000 Fab. Ulteriori informazioni su UL3000 Fab sono disponibili qui.
Per ulteriori dettagli sul rilevatore di perdite a elio UL3000 Fab, contattare la sede INFICON più vicina.