El nuevo UL3000 Fab de INFICON establece las bases de los procesos de prueba en el sector de la fabricación de semiconductores
El nuevo detector de fugas de helio UL3000 Fab de INFICON está diseñado para llevar a cabo pruebas de fugas en el sector de la fabricación de semiconductores. Con el UL3000 Fab de INFICON, revisar la existencia de fugas en cámaras de procesamiento de semiconductores se convierte en una operación rápida y confiable. El instrumento emplea helio como gas trazador y es capaz de detectar tasas de fuga de tan sólo 5 x 10-12 atm cc/s, lo cual permite contar con la máxima certeza de hermeticidad en cámaras de vacío para la producción de obleas.
El UL3000 Fab ofrece además una estabilidad óptima y la máxima maniobrabilidad. Gracias a su compacto diseño móvil y su construcción robusta, el acceso a las áreas de prueba no representa ningún problema. Una vez localizada la fuga, el UL3000 Fab facilita el trabajo del operador mediante una pantalla táctil giratoria facil de usar y que ofrece acceso a una moderna navegación de los menús y una interfaz intuitiva. También es posible acceder al menú a través de un dispositivo móvil, lo cual facilita el control a distancia del instrumento y resulta particularmente útil cuando el espacio es limitado y el instrumento se coloca a cierta distancia de la cámara de fabricación de obleas. Otra de sus novedades es la función I·Zero 2.0, que hace posible la supresión del fondo de helio en el objeto de prueba sin afectar la precisión y confiabilidad de los resultados, acelerando así el inicio de la prueba de detección de fugas.
Mientras que el UL3000 Fab está diseñado para garantizar la hermeticidad de cámaras de fabricación de obleas mediante una prueba en vacío con helio, el modelo opcional UL3000 Fab PLUS también ofrece al operador la posibilidad de detectar fugas empleando el método por rastreo (sniffer) en tuberías con diferentes gases de proceso.
El UL3000 Fab PLUS incorpora también el software HYDRO·S, capaz de suprimir los efectos de la humedad y el hidrógeno en la tasa de fuga de helio. Como resultado, la prueba de detección fugas puede comenzar rapidamente.
Su compacto diseño, su intuitivo funcionamiento y sus rápidos resultados son sólo algunas de las ventajas del nuevo UL3000 Fab. Siga leyendo acerca del UL3000 Fab aquí.
Si desea obtener más información acerca del detector de fugas de helio UL3000 Fab, póngase en contacto con su distribuidor de INFICON más cercano.